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2008年11月21日 03:40現在
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◆選択エピについて
  • 2月号 Cover Storyより- 図2にp型MOSとn型MOSの単軸歪み手法とTEM写真を示す。p型MOSにはBをドーピングしたGe 濃度17%のSiGeのが用い TSMCは、で成長させた歪みSiチャンネルを使って、p型MOSのしきい値電圧 Vtを最大200mV減少させることに成功した。  (続き
  • Cover Story 5月号より- ベタ膜のエピ成長と比較すると、は多くのことを考慮しなければならない。 選択性はもちろんのこと、局部的な成長速度 プロセスパラメータを最後まで合わせ込むことは大変だが、大量生産の厳しい要件を満たす十分に制御されたの開発は  (続き
  • エレベーテッドソース・ドレインを用いた 0.15μmゲート長SOI CMOS より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。成長 (Selective Epitaxial Growth,SEG) させ. るエレベーテッドソース・ ドレイン形成技術が注目さ. れている エレベーテッドS/D形成の為にSiの 成長を行っ. た。 (d) LDDインプラを行った後,厚いSiO  (続き
  • CiNii - SC-9-2 選択エピによる自己整合型SiGeペースバイポーラ技術より- Vol.1999年.エレクトロニクス, No.2(19990308) pp. 220-221. 社団法人電子情報通信学会. 書誌情報. SC-9-2 による自己整合型SiGeペースバイポーラ技術. Self-Aligned Selective SiGe-Base Bipolar Transistor Technology  (続き
  • CiNii - 27p-HA-3 低温選択エピ成長BドープSi_<1-x>Ge_xを用いた浅い より- 書誌情報. 27p-HA-3 低温成長BドープSi_<1-x>Ge_xを用いた浅い接合の形成. 27p-HA-3 Ultrashallow junction formation using low-temperature selective Si_<1-x>Ge_x CVD. 本間 文孝 1 後藤 欣哉 2 前田 孝浩 3 室田 淳一 4 澤田 康次 5  (続き
  • 電子ビームリソグラフィによる ダイヤモンド基板上へのサブミクロン より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。本研究は電子ビームリソグラフィを活用し、によるサブミクロンレベルのダイヤモンド. パターンの形成技術の確立を目的として 可能な方式を採用し、微細化精度の向上. を試みた。 実験. 高圧合成による単結晶ダイヤモンド基板上に電  (続き
  • 真空技術と次世代発想のアルバック(ULVAC)より- SiGeエピ膜を低温で成長する技術を開発— sSOIとソース/ドレインへのSiGe適用が可能 —. 2006年10月5日 株式会社アルバック. 株式会社アルバック(社長 諏訪秀則、 本社 神奈川県茅ヶ崎市)は、シリコンゲルマニウムエピタキシャル膜を低温で成長  (続き
  • 真空技術と次世代発想のアルバック(ULVAC)より- sSOIとソース/ドレインへのSiGe適用が可能なSiGeエピ膜を低温で成長する技術を開発. アルバックと米国JDSU社が新たなアライアンスを組むことで合意し、最先端光学膜成膜装置を開発、販売展開. ページTOPへ  (続き
  • Realize Advanced Technology Limited − 書籍詳細より- 成長第6章 ゲッタリング技術 第1節 ゲッタリングの歴史と目的 1. はじめに 2. ゲッタリングの始まりと目的 3. ウェーハ裏面処理によるエクストリンシック・ゲッタリング 4. イントリンシック・ゲッタリング 5. CZ結晶の酸素濃度最適化 第2節(a)  (続き
  • 154yoshimiより- Si成長によってSi界面を持ち上げ, 等価な接合深さを深くする効果で接合リーク電流の低減が可能となる Si膜厚を最適化することで, SALICIDEプロセスによって表面Siが消費されたのちの界面濃度が最大となり, コニタクト抵抗が最小と  (続き
  • IEICE SEARCH SYSTEMより- 酸化膜パターンとエピ層のすき間(ファセット幅)は0.03μmと極めて小さく,微細な活性領域にも成長が可能であり,デバイスの微細化に適している.また,ソース, ドレーンと素子分離のリーク電流は通常のバルクシリコン基板を用いたMOSとほぼ同等  (続き
  • IEICE SEARCH SYSTEMより- Si成長(SEG)膜に発生する積層欠陥密度が接合リーク電流に及ぼす影響,成長温度や基板上の絶縁膜パターン方向に対する依存性を調べた結果,[100]方向方形パターンを使用して成長温度,プロセス温度を低温化することによって,SEG膜のファ  (続き
  • S−SDI 申込テーマ検索画面のサンプルより- AB 最近,の状況は変わってきている。ソース(S)とドレイン(D)上にを 成長させ,高さを増す。 PMOS用にS/D上のBド ープSiGe成長はチャネル部に圧縮応力を引き起こし,トランジスタの駆動電 流を増加した。  (続き
  • Si(回路)と融合する化合物半導体デバイスに関する技術調査 報告書より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。ホール素子のデバイス構造は (a) 基板付きデバイスを接着剤貼り付けの他に、(g) . 成長が用いられる。 ☆トランジスタ ーディッドエピ層、(g)成長、(h)透光性絶縁膜中の量子ドットに分類できる。図 2.3.1 は  (続き
  • RN 0 0 0より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。. 表面安定化膜. パッシベーション膜. 端面処理. 低抵抗オーミック. U-MOS構造. 結晶作製技術. 金属/ SiC 界面制御. 酸化膜/ SiC界面制御. ゲート酸化膜. 深接合形成. 高温注入技術. 界面制御技術. エピ成長. 素子特性評価. 素子特性評価  (続き
  • ボディケア − エピファイン - コスメ/クチコミ検索 - コスメ - Yahoo より- トップ > コスメ > コスメ/クチコミ検索 > カテゴリ > ボディケア/ブランド ファイン. ボディケア − エピファイン, お気に入りに追加 [ ブランド変更 ], Yahoo! ビューティー×アットコスメ. 基礎化粧品:, 洗顔料| クレンジング| 化粧水|  (続き
  • JSTフォーラム:第5期 開催実績より- 塚本 克博 氏三菱電機(株)LSI研究所最先端デバイス技術部 グループマネージャー. 『MOSエピ技術の新しい展開―と低温エピの見通し』. 遠藤 伸裕 氏日本電気( 株)マイクロエレクトロニクス研究所超高集積回路研究部 部長代理. パネル討論  (続き
  • 個別テーマ詳細説明資料 ?ダイヤモンドデバイスの開発と試作評価 3 より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。ダイヤモンドに適したプロセス技術の開発. ☆p. +. 領域の形成には、ドライエッチングやイオン注入. よりが適していることを明らかにした。 試作したダイヤモンドFET( 単結晶上). を用いたプロセスで 9.1 mS/mm  (続き
  • フォトニック結晶と機能材料の融合及び超小型光回路素子への応用技術の より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。現実的なデバイスへ. 応用が可能な機能材料から成る 3D フォトニック結晶構造を実現するための第二のステップは、より狭い領. 域に活性層を成長させること、及びフォトニック結晶中の機能材料を取り入れた領域に光が局在す  (続き
  • (Cover page) 拡散技術のロードマップ概観− ITRS 99 より Doping より- ファイルタイプ: PDF/Adobe Acrobat - PDFファイルをご覧いただけるブラウザをご使用でない場合は、このファイルのを参照してみてください。極低温のチャネル技術の開発が望まれ. る。その際、いわゆる増速拡散(TED)や点欠陥. との相互作用による拡散などを、より精密に制御. するための研究が必要になる。 この様な将来技術. を用いたとしても、MOSFET のオン/オフ電流比  (続き

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