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2008年11月22日 05:16現在
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◆液浸ステッパーについて
  • 【NECエレクトロニクス】NEC山形において40ナノの半導体製品を生産 - ELISNET -より- 生産ラインに55nmおよび40nmの最先端半導体製品の製造を可能とするNEC山形の55nm品は,液浸露光技術とHigh-kゲート絶縁膜といった最先端の技術を採用しているが, (続き
  • 株式会社ニコン精機カンパニー>ニュース>2004年より- 2004年11月30日.ニコン縮小投影型露光装置用偏光照明「POLANO」の販売について.2004年11月11日.ニコン縮小投影型露光装置「NSR-S208D」量産対応ArFの開発について.2004年1月14日 (続き
  • 工業調査会 技術雑誌・図書専門出版社 > 雑誌 > 電子材料 > 最近の特集テーマ > 2005年3月号より- 液浸リソグラフィ向け「TWINSCANシステム」BobStreefkerk(ASML)レジスト開発用液浸ステッパ「AMPHIBIAN」関口淳(リソテックジャパン)液浸プロセス対応レジスト塗布現像装置「CLEANTRACKLITHIUSi」 (続き
  • http://www.rad-info.com/kanre31.htmより- 東芝は、ニコンの回路線幅45ナノメートルに対応する最新型のを採用した。回路線幅45ナノメートル以下の半導体量産に対応したJSRが開発したフォトレジストとIBM製ArF対応を使用した。 (続き
  • こちら文芸&学芸書籍編集部より- 雑誌書籍オンラインメディアメルマガアンケートSBCrshop会社案内初級シスアド試験の過去5回分の問題・解答バックナンバー.アンケート.サイトマップ.お詫びと訂正ニコンのが本格的に撃沈した事を確認する。 (続き
  • SUCCESS NET No.6より- ステッパー関係の3社は、液浸技術とその発売計画を発表している。なお、に伴うステッパー以外の各種問題点が議論されているが、ほとで微細化パターンが実現すると、それに応じて検査も精密度向上が.求められる。 (続き
  • NECエレクトロニクス、NEC山形で40ナノの半導体製品を生産 ビジネス-発表資料:IT-PLUSより- の加工技術を用いたシステムLSIを生産することを決め、本年度100億円を投じ、現在の300ミリ生産ラインに55nmおよび40nmの最先端半導体製品の製造を可能とするなどの生産設備を設置いたしました。 (続き
  • 市場調査報告書:リソグラフィ・ステッパーおよびスキャナーの世界市場より- 当報告書では、世界におけるリソグラフィ・ステッパーおよびスキャナー市場について分析しています。調査対象となる製品セグメントは、i-line、KrF、ArFドライおよびArF液浸ツール、市場は、北米、欧州、日本およびアジア太平洋地域となっております。 (続き
  • 表彰事業:NIKKEI EVENTS GUIDEより- 日本経済新聞社が主催する表彰事業。本賞は毎年1回、特に優れた新製品・サービスを表彰するもので、第25回の開催となる2006年では審査委員会(委員長半導体「NSR-S609B」(ニコン)日経MJ賞 (続き
  • Semiconductor FPD Worldより- ITRSロードマップに,液浸ステッパ,EUVと並んでナノインプリントが取り上げられて3年経ち,同シンポジウムでは,ArF液浸リソグラフィが何処まで延命できるかの他,EUVリソグラフィ技術の現状と課題,マスクレスリソグラフィの可能性, (続き
  • 日経ナビ2009:株式会社ニコン<企業情報>より- デジタル一眼レフカメラ〔D300〕ArF液浸スキャナーステッパー〔NSR-S610C〕史上最も精密な機械といわれるステッパー(半導体露光装置)は国内外でトップクラスのシェアを獲得し、大きな収益の柱に成長した。 (続き
  • ニコンより- ステッパ分野では、液浸露光技術の採用によりNA1.0を超えた高解像度.ArF液浸スキャナを販売し、量産機としての評価を確立した。また、線幅ステッパでは、NA1.0の壁を破る世界最高のNA1.07を実現したArF液浸ステッパの出荷を開始した。 (続き
  • ASML Holdings NVより- ASMLHoldingsNV.オランダの半導体製造装置メーカー,Veldhoven。2005年7月13日,次々世代の半導体量産に対応した液浸露光装置()XT:1700iを開発し, (続き
  • インテル関連/株テーマ別/アセットアライブ株式情報より- テーマ別に整理された注目銘柄。キーワード検索でテーマ関連銘柄を一覧表示。半導体、液晶製造装置は在庫調整による波が大きい。.・システムLSI.・シリコンウェハー.・半導体・液晶検査装置.・半導体 (続き
  • コラム | マビック [Mavic]より- 2008年2月18日(月)2008年2月第2週.2008年2月第1週生産増強.ニコンは半導体ステッパー(回路露光装置)の最新型であるの年生産能力を増強する。能力は今年度下期 (続き
  • 兜町のふくろう きょうの新聞0607より- 松下こんろ火災54件、簡単に電源入り引火か(産経1面)*三菱マテ多結晶シリコン増産、半導体・太陽電池向け需要増(産経8面)ニコン生産増強、来期40-60台に(日経産業9面)*ファルコ臨床検査名古屋 (続き
  • 【ニコン】ArF液浸スキャナー,世界全地域への出荷達成 - ELISNET -より- 今回,同製品が選ばれている背景には,市場へいち早く投入したことに加え,液浸起因の欠陥がなく,量産を行えるという実績が認められたものと考えている。i線スキャンフィールドステッパー「NSR-SF155」を発売(2007/12/03) (続き
  • 2008年3月期 第3四半期財務・業績の概況(連結) 補足説明資料より- 第23期(2008年3月期)第3四半期財務・業績補足説明資料.2008年1月31日.サイバネットシステム株式会社.代表取締役社長.田中邦明最新型半導体ステッパーの「」を約3割増産(ニコン)電池関連 (続き
  • はてなブックマーク - NECエレ、40nmシステムLSIを量産へ - ITmedia Newsより- NECエレクトロニクスは11月16日、40ナノメートル(nm)プロセスによるシステムLSIの量産に向け、40nm品と55nm品で共有できる液浸ステッパーなどの設備を、100%子会社のNEC山形に、100億円を投じて設置したと発表 (続き
  • 45nmノードの液浸リソグラフィに対応 偏光の重要性をシミュレーションで実証より- 力は、アクエリアル像(液浸内の焦点平面での電.界強度の2乗)リソグラフィ技術の進歩は目覚ましく、6545nmノードでは、ついに液浸技術による露光装シミュレータ、ステッパ/スキャナ、検査装置対.応など、数多く挙げられる。 (続き
  • 世界市場における地域別企業のシェア推移 世界市場における地域別企業のシェア推移より- RETのほか、最近では、液浸技術マレーザ(波長193nm)を光源とする液浸ステッパプロトタイプ機による実験的評価の結果、期待.された性能が確認され、液浸に伴う種々の問題も解決可能であることが示され、実用性の高い技 (続き
  • マーケットシェア・マンスリーより- マーケットシェア,市場動向,調査資料矢野経済研究所>マーケットシェア・マンスリー.2007年12月号(通巻No.218)ステッパー市場.45ナノメートル対応のが出揃う.軽仮設材リース市場の動向・後 (続き
  • え!ん?わっ@あんないおつかれ:[え!ん?わッ] :カテゴリ:ニュース・時事問題より- MBF結晶成長で青紫色レーザ.シャープ、MBE法による青紫色半導体レーザで世界初の室温連続発振2005年07月06日11時57分.http://nikkeibp.jp/wcs/leaf/CID/onair/jp/elec/384473 (続き
  • 【半導体】東芝:最先端半導体生産、ニコンの液浸ステッパーを採用...世界初45ナノ対応 [07/10/19]より- ニコンは18日、半導体ステッパー(回路露光装置)の最新型であるが東芝には「NSR―S610C」で今年の2月に出荷を開始した。半導体基板材料である.シリコンウエハーとレンズの間を純水で満たす液浸技術を採用した。 (続き
  • NECエレ、40nmプロセスのゲーム機向けシステムLSIを製造へより- 2007年度に100億円を投じ、現行の生産ラインに40nmプロセス対応のなどを導入した。同社はすでに55nmプロセスでのサンプル出荷を行なっており、その製造施設で使用している液浸露光の技術、High (続き
  • 今日の株価材料:10/19 追加01-2 - livedoor Blog(ブログ)より- 東芝、最先端半導体生産にニコンのを採用.ニコンは18日、半導体ステッパー(回路露光装置)の最新型であるが東芝に採用されたと発表した。は「NSR―S610C」で今年の2月に出荷を開始した。 (続き
  • キヤノン:半導体露光装置より- 45ナノメートルの本格量産対応ArF液浸スキャニングステッパー-NEW300mmウエハーで120枚の高スループットを実現したi線ステッパー.64メガビットDRAM量産用のi線ステッパー.この商品に関するお問い合せ先 (続き
  • コラム | マビック [Mavic]より- ぷっちブレイク.ようこそわが社へ.朝刊チェック!2008年2月15日(金)2008年2月14日(木)2008年2月13日(水)2008年2月12日(火)をメドに最新鋭ので回路パターンを2回に分けて.露光する機種を発売する。 (続き
  • オプトロニクス2005年08月号|株式会社オプトロニクス社より- 毎号、光技術情報が満載=>月刊OPTRONICSとは産業技術総合研究所.年間購読のお申込み.こちらから.今後の特集予定.バックナンバーニコン,超高NA1.07のArF液浸ステッパを発表.PHOTONICSSPECTRA (続き
  • いろは総合保険の店主のブログ: 2006年 日経優秀製品・サービス賞=きょうの朝刊からより- 兵庫県で東京海上日動の専属代理店を営む店主のページです。*コメント・トラックバックは自由ですが、関係のない内容はご遠慮下さい.TOP.ちょっと写真半導体「NSR-S609B」(ニコン)日経MJ賞(日経流通新聞賞) (続き
  • 株式会社ニコンシステム:【ソフトウェア】の就職情報なら:リクナビより- 液浸スキャナー(半導体露光装置-ステッパー)ステッパーとは半導体露光装置のことで、半導体の材料となるシリコンに微細な回路を焼き付けるニコンのステッパー事業は更なる強化を図っています。 (続き
  • 東洋証券 情報部より- 2006/9/1売買審査室審査済み.国内主要経済指標.主なタイムテーブル.干支と株式市場.テクニカルから見た日経平均.2007の評価は高く台湾のパワーチップに採用決定、生産能力は5割増の30台へ増強。 (続き
  • 2004年度下期の経営に当たって 2004年度下期の経営に当たってより- 2004年度下期の経営に当たって.2004年度下期の経営に当たって.Oct.28.2004.04年度重点実施事項の状況.04年度重点実施事項の状況のレンズ材料として、高性能のフッ化カルシウム.単結晶の開発に成功 (続き
  • 2006年3月期 決算説明会より- Page1.2006年3月期.2006年3月期.決算説明会.決算説明会.株式会社買収防衛策の導入.5.次世代ArF用レンズのスペッククリアに目処.試験的採用に向け顧客にて評価継続 (続き
  • Weekly Reportより- 一方、最先端の微細加工技術による半導体製造装置である液浸ステッ.パーが業績の押し上げ効果をもたらすと考える。液浸ステッパーは投影 (続き
  • 【LTJからの最新情報】より- 193nm液浸露光対応QCM解析装置(IMESq-5500)193nm対応2光束干渉液浸マイクロステッパAMPHIBAN米国BenchmarkTECHNOLOGIESステッパ・フォーカスモニタ・システム (続き
  • 肝のおいしい、 - shibajiの食べ物ブログ - 楽天ブログ(Blog)より- shibajiの食べ物ブログ(料理・食べ物)楽天ブログ【ケータイで見る】【ログイン】shibajiの食べ物ブログ.Calendar.November2007.S.M半導体「NSR-S609B」(ニコン) (続き
  • lithographyより- Lithography,液浸露光装置対物レンズ(投影レンズ)とシリコンウエハーの間に液体(通常は純水)を挟み込むことによって解像度を高める技術(液浸露光技術)を採用したステッパー,IC製造に用いられる光学リソグラフィ技術。 (続き
  • ステッパー とはより- ステッパーとは?ステッパー(英:Stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。また、近年の微細化に対応する為に投影レンズとウェハーの間の空間を液体で満たす液浸という方式も実用化されている。 (続き
  • 東洋証券 情報部より- 2006/9/1売買審査室審査済み.国内主要経済指標.主なタイムテーブル.株式市場の見通し.ユーロ/ドル・WTI・CRBチャート.日経平均チャートなどの評価は高く台湾のパワーチップに採用決定、生産能力は5割増の30台へ増強。 (続き
  • スラッシュドット・ジャパン | 水中半導体製造法より- 液浸(Immersion)のことですね。液浸技術を適用した場合には、基本的にはステッパーのレンズ改善と流体系を装着する等の既存ArFステッパーの改造ですむため、開発、装置のコストが少ないというメリットがあります。 (続き
  • Camera ISLAND Photo News PickUp ニコン、平成18年度3月期はデジタルカメラ好調で売上高・純利益とも過去最高を更新より- この発表によると、高解像度のArFが大幅に売上を伸ばし、デジタルカメラ市場も緩やかに拡大を続け、平成18年3月期の売上高が7,309億4,300万円(前年同期比14.5%増)、純利益289億4,400万円 (続き
  • キヤノン:FPA-7000AS7 製品概要より- 資料請求フォーム.解像力45ナノメートルの本格量産対応ArF液浸スキャニングステッパー"FPA-7000AS7"(W)2,100×(D)4,700×(H)3,400mm.お問い合せ|サイトのご利用について (続き
  • DTレポート|ブログページ:今朝の朝刊からより- DTレポート|ブログページ.DTレポート発行チームがお届けしますブログです!推奨実績、今朝の朝刊から.サイコロジカルライン(日経平均)5勝7敗ニコン、、シェア首位へ3割増産、来年度40台に、 (続き
  • ビズログ キヤノン、半導体生産用の最先端露光装置(ステッパー)に参入より- 液浸をやるってことね。なぜなら液浸は日本発の技術革新。ステッパー自体日本発の技術。やっとキヤノンも液浸で追いついたけどニコンのシェアを食うだけ。ASMLが逃げていく。48[]投稿日:2007 (続き
  • 行き止まりの駅から いつも海を眺めてた - 独り言以外の何かより- 独り言以外の何か.コメントフォーム利用のガイドラインはこちらから。感想、タレコミ、宣伝等々なんでもどうぞ。45nmプロセスの具体的な構造についても説明されてますが、32nmプロセスまでは使わないのかー。 (続き
  • Bloomberg.co.jp: 日本より- 最先端機のArF(フッ化アルゴン)液浸露光機2台が9月に売り上げが立った。一方で、ICステッパーは液浸が増えることでICステッパー説明会に同席した牛田一雄常務は液浸について、来期は20台では足りなくなるだろう、 (続き
  • 世界初、45ナノメートル システムLSIの量産を開始 | プレスリリース | ニュース | 松下電器産業株式会社より- LSIのパターンを形成するための露光装置であるステッパーの解像度を決める要素の1つで、[3]液浸ArFスキャナー.ステッパーにおける投影レンズとウェハ間を液体で満たしてレンズ径を大きくして、解像度を高める技術のことです。 (続き
  • バックナンバー 2004年2月16日~20日 日本のコンピュータ情報 : 富士通より- 日本のコンピュータ情報>バックナンバー>2004年2月.2004年2月16日~20日までの記事を掲載しています。量産対応ArFの開発について.日本IBM.日本トラスティ情報システム、 (続き
  • テクニカル投資(IQE)の株式投資ブログ " 地方版の産業再生機構より- 指定銘柄の値上がり率20%以上多数!テクニカル分析による『システム売買』をご紹介。GCA、米投資銀行を三角合併.米フォード・モーターの株価が堅調、赤字縮小で"7731東1ニコンはを3割増産 (続き

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