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2008年09月05日 20:43現在
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◆tinスパッタについて
  • 製品・技術情報 論文紹介|キヤノンアネルバ株式会社より- スパッタ成膜において、ターゲットMOCVD-TiNTDEATとNH3を用いたMOCVD法によるTiN膜は、低温成膜が可能であり、優れた段差被覆性が得られることから、 (続き
  • 半導体材料より- (コンタクトの深さ/コンタクト径)は1を超え、スパッタ膜のステップカバレッジが低下し、バリア特性が劣化するために、この理由としては、TiNに比べて、スパッタCu膜との接着性およびCuに対する拡散バリア性が優れるためである。 (続き
  • アルバック、第8.5~10世代CF基板対応スパッタ装置の受注開始より- 今回、製品化した「SDP-2600WX/3000VTX」はこのアプリケーションの中でも特に大型化が急速に進むCF用lndiumTinOxide(ITO)成膜に対応した縦型インライン・スパッタリング装置。 (続き
  • 当社では「表面硬化」の処理方法として、注目度の高いアーク放電型高真空 ...より- スパッタ.金属、合金と一部の化合物.金属と一部の化合物.金属、合金、化合物、サーメット、TiN(窒化チタン)30003800.19002400.ハイス鋼4末日からTiN、TiC、TiCN膜を主として稼動を予定致しております。 (続き
  • 薄膜形成法を用いたナノ加工技術の研究より- StudyonNano-ScaleFabricationbyTinFilmスパッタリング法による成膜条件,薄膜の評価方法,Alスパッタ膜への電解処理について検討し,次の結果を得た.この課題に対し,スパッタ成膜法やめっき法などの手 (続き
  • 研究業績より- 冨山まりい.榊岳史.松本克哉【追記】大学院進学予定者は,精密工学会「学生会員卒業研究発表会」で発表しています.獲得した外部研究資金【豊田中央研究所在籍時の研究業績】学術論文.国際会議.解説等.特許出願・・・25件以上.学会発表 (続き
  • FM工法より- 高真空炉内で金属表面に特殊合金分子(注1)を電子銃で打ち込むことにより、母材の錆びなくなり、ごみ、スパッタ、半田、銀ペースト等の不純物が付着しにくくなります。特殊コーティング層(DLC,TIN,TICとは全く異なります。 (続き
  • EVC8より- こちらはTiNのアウトガス測定結果だった。電通大の人がFePt-TiNfilmの話をしていた。Ar+N2雰囲気でFe-Pt-Tiをスパッタして成膜する。温度(600~800℃)によってFePtの磁化が変化 (続き
  • 【FPD】有機ELパネル向け装置が続々登場,発光材料開発からパネル洗浄 ...より- 技術者を応援する情報サイト「Tech-On!」の中で,FPD(フラットパネル・ディスプレイ)関連の情報を提供する専門サイト「FPDInternational」の記事で,タイトルは(IndiumTinOxide)電極向けスパッタ (続き
  • 株式会社ホンダロック -製品紹介- 豆知識 -スパッタリング製法(成膜)-より- スパッタリング製法(成膜)スパッタ装置.枚葉式スパッタ装置.概要図<特徴>自動化対応また、Arガスと共に微量のO2・N2ガスを入れることにより、反応性スパッタリング(ITO・TiN等)を行うことができます。スパッタ成膜原理 (続き
  • 会誌目次50-12より- 繊維強化複合材料のき裂感受性に関する研究.板東舜一・座古勝.1299.シリコーンゲルで封止されたワイヤの振動解析.竹田憲生・成瀬友博工業用純チタン試験片に形成されたTiNおよびAlNスパッタ薄膜の割れ強度およびはく離強度評価 (続き
  • New Research Cluster より- 装置は小型スパッタ装置1台のみでしたが,その後,徐々に実験設備等の拡充を図り,8年目の今年はスタッフ(教授あえてスパッタ法に特化した理由は,この用いたITO(TindopedIndiumOxide)薄 (続き
  • 河合光学 株式会社 蒸着技術詳細、検査器、生産風景より- スパッタのしくみ<主なスパッタ物質>Al.アルミニウム.Au.金.Co.コバルト.Cr.クロム.CuTiN.窒化チタン.TiO2.2酸化チタン.BACK.光学膜のしくみ.光学 (続き
  • 3 月 28 日より- 55めっき法で作製したPd合金薄膜とそれらの水素透過特性.岐阜大工上宮成之(院生)安井謙一郎(学生)谷口佳介.工王林勝義家亮西村誠73スパッタ法で製膜したY/TiN-Pd膜の構造と水素吸放出特性 (続き
  • 物理気相成長 - Wikipediaより- TiN(窒化チタン)TiC(チタンカーバイト)TiAlN(窒化チタンアルミ)DLC(ダイヤモンドライクカーボン)[編集]関連項目.表面処理.化学気相成長(CVD)真空蒸着.めっき.この項目「物理気相成長」は、工学 (続き
  • 9 月 16 日より- 655TiNバッファ層上に成膜したGaNの結晶成長と格子欠陥との関係656GaN結晶成長用スパッタ(Ti1-XZrX)Nバッファ層の開発657スパッタTiO2:Nb薄膜材における電気特性および微細構造 (続き
  • youichi_hoshiより- スパッタ法による薄膜作製技術の開発とそのandHidehikoShimizu,"LowtemperaturedepositionofIndiumtinoxidethinfilmsbylowvoltage (続き
  • 旭化成株式会社 基盤技術研究所/微小角入射X線回折法による極薄膜・界面の解析より- Si基板にTi薄膜を約50nmスパッタした後、窒素中約650℃で数分間アニールした試料のin-planeX線回折パターン。X線入射角度を変えて測定することにより、極表層部分にはTiNが形成されており、その下にTiSi2層があることがわかった。 (続き
  • ジオマテック株式会社 - 成膜物質一覧より- スパッタ.蒸着.スパッタ.蒸着.スパッタ.蒸着.スパッタ.Al.Au.Co.Cr.Cu.Ge.In.MoTiN.TiO2.WO3.Y2O3.ZnO.ZnO2.Al系合金.Ag系合金.Ni系合金 (続き
  • 72より- TiN/Tiはエレクトロマイグレーション対策やバリアメタル密着層としてTiNをスパッタ法により形成し,その上にW通常,密着層TiNをスパッタ形成する前に行うRFスパッ.タエッチングのエッチング量の最適化 (続き
  • 高周波バイアススパッタリングによる窒化チタンのコーティングより- 1989年3月北海道工業開発試験所技術資料12,174-175本研究では反応性高周波スパッタ法により、304ステンレス鋼基板上にTiN膜を作製し、その際に印加するバイアス電圧を変化させバイアス電圧が膜の性状に及ぼす効果を系統的に調べた。 (続き
  • アルミNoより- 一般的に、金型には窒化処理やTiNなどの硬質保護膜によ硬質コーティングには反応性スパッタ法が用いられることが多い。合ガスを、そしてターゲットにTiを用い、適切な条件でスパッタを行えば黄金色のTiN(窒化チタン)膜が基 (続き
  • 薄膜形成・加工サービスより- B,B4C,BN,C,Cr3C2,SiC,SiN,TiN,各種シリサイド等.基板.Siウエハ及びガラス等.膜質.X線回折,蛍光X線,AES,XPS,SIMS,TEM,化学分析などを用いて作製した薄膜を分析することも可能です。応用例 (続き
  • 平成18年度研究結果概要より- スパッタ装置による基本硬質膜(TiN、TiAlNなど)を鍛造金型及びダイキャスまた、実操業において、スパッタ法によるTiNあるいしかし、まだ国内では非加熱かつスパッタ法による大面積への成膜の実.用化はされていない。 (続き
  • 広島大学ナノデバイス・システム研究センター装置一覧より- 超高真空仕様,Al以外にTi,TiNのスパッタが可能.20.LPCVD装置(poly-Si用)汎用スパッタ装置.エイコー.各種材料スパッタ用(3インチターゲット交換により広範な材料に対応)スパッタガス(Ar・O2・N2) (続き
  • 株式会社ALSテクノロジーより- Low-damageindium-tin-oxideformationonorganiclayersusingauniquecylindricalsputteringmoduleandtheapplication (続き
  • コーティング装置より- 独自に開発したホローカソード型イオンプレーティング方式によって、TiN、TiCN、コンパクト設計ではありながら、PSII電源標準装備や高周波スパッタ源等を追加可能で、大型生産機と同様の複合成膜も一台で実験が可能。 (続き
  • パターン設計からデバイス試作、パッケージングまで >> MEMS素子用 ...より- 様々な薄膜(メタル膜・絶縁膜・半導体膜)の形成を承ります。スパッタを用いて酸化膜の形成を承ります。《メタル形成》スパッタ、蒸着装置を用いて各種メタル膜を形成いたします。(膜種:Cr、Ti、TiN、Cu、Au) (続き
  • 会誌目次40-455より- 第40巻第455号目次特集腐食防食一般論文.特集腐食防食(Vol.40No.455)総説(Vol.40No.455)応力腐食割れと表面皮膜安定性反応性スパッタ法で作製したCu3N-TiN系窒化物薄膜の電子状態 (続き
  • 株式会社マツボー精密機器部より- ハードコーティングとは、物質の表面改質の為に、TiN,TiAlN,CMPコンディショナー.CMPとは、ChemicalMechanicalPolishingの略で、ウェハ上に形SiC.SiCはSi (続き
  • ラマン分光法によるLSIの局所応力の解析より- チタン(Ti)をスパッタし,その上に,酸化防止用の.窒化チタン(TiN)を350nmスパッタした。このウエハTiN.をエッチング除去した。Table1に,スパッタした.Ti.の膜厚と,形成 (続き
  • 【VLシンポ】0.1μm以下のCMOS技術、課題への対策が相次ぐ ...より- このページの本文へ.BPnet.TRENDYnetここから本文です.最新記事一覧へ東芝は膜厚が約2nmのSiO2ゲート絶縁膜にTiNを成膜する場合、スパッタよりもCVDの方がゲートのリーク電流を大幅に低減できるとした。 (続き
  • 製品紹介より- プレス抜き、折曲げ、プレス絞り、成形、ロール、圧縮パンチ、スピンニング用金型.熱間加工用金型.ダイカスト金型、プラスチック金型、プレス金型.機械部品.磨耗部品、各種摺動部品、ゲージ.皮膜断面.SKHにTiC・TINを被膜した場合の表層部は (続き
  • 製品・技術情報 論文紹介|キヤノンアネルバ株式会社より- 「TDEATを用いたMOCVD-TiN膜の成膜における微量NH3添加の効果」により形成されているが、生産性の向上および保護膜としての膜性能(耐スパッタ性)の向上が課題となっている。 (続き
  • 半導体技術について勉強しよう より- ラインに入っているスパッタ装置ですが、Ti、TiN、Alのチャンバーがあり、それぞれ製膜で切るのですが、メタルって上のほうだからスパッタする下地って、層間絶縁膜とかじゃないの.自然酸化膜とるためなのかな?バリメタ (続き
  • 研究室索引(著書および学術雑誌等に発表したもの) 第4部 山本 良一 研究室より- 反応スパッタ法により作製したTiN/TaN多層膜の構造と力学的性質:徐義孝,北垣孝,植田広志,島順彦,大塚正久,山本良一,日本金属学会講演概要(1997年春期大会),p.151,1997.03E (続き
  • 映像情報メディア学会 Webzine 海外文献集録 2004年9月号(1 ...より- emittingDevicesbySurfaceModificationofNickel-dopedIndiumTinOxcideAnodeNiをITOの表面にスパッタにより添加すること及びO2プラズマ処理により、 (続き
  • PowerPoint プレゼンテーションより- 名古屋大学菅井秀郎.1.プラズマ応用関連の最近の書籍.2.プラズマによる材料プロセスの動向.3.名大のプラズマ.COEの取り組み.F.スパッタ.Ti、TiN、Al、W.PEP.ウエットエッチング.メッキ.レジスト剥離 (続き
  • 平成14年度産業科学ナノテクノロジーセンタープロセスファウンドリー施設 ...より- (汎用熱処理装置、汎用スパッタ装置)を本支援予算により整備いたしましたAlスパッタ装置(エイコー)超高真空仕様,Al以外にTi,TiNの.スパッタが可能.汎用スパッタ装置(エイコー)各種材料スパッタ用(3インチターゲット (続き
  • PVDとCVDより- 現在では、絶縁物質のスパッタリングが可能なプラズマの利用やスパッタ効率を高める工夫などが研究され、多くの手法が開発されているTiNやTiCN膜の生成手法として工業的にも主に金型を対象として応用されている.熱CVDTiN、TiC、TiCN (続き
  • nanonet2.docより- これに加えて、教員が個々に管理している新方式のスパッタ装置など、高品質で高清浄な真空環境のもとで高品質な多層薄膜材料の作成とデバイス試作のための微細加工Alスパッタ装置(エイコー)超高真空仕様,Al以外にTi,TiNの.スパッタが可能 (続き
  • 平成11年度研究報告より- コーティング工具の高速切削における信頼性向上を目的として、スパッタ法により超硬工具の基板側にTiN、表面側にTiCリッチとなるような傾斜膜を持つコーティング工具を作成し、アルミニウム合金(AC9A)と鋳鉄(FC15) (続き
  • 本年度の博士論文発表会プログラム(案)(題名省略)ですより- 電気通信大学電子物性工学専攻の本年度の博士論文発表会を下記により開催いたします。ご出席くださいますよう、ご案内申し上げます。電子物性工学専攻主任論文題目:反応性スパッタ法による.Co-TiN系ナノコンポジット薄膜の構造と垂直磁気 (続き
  • bunrui11より- スパッタ法によるSi膜、SiO2膜を用いた高移動度・高信頼性poly-SiTFTスパッタ法によるTiNゲート電極仕事関数のRTA処理温度依存性Poly-Si/TiN電極を用いたHfSiONゲートスタックのトランジスタ特性 (続き
  • 材料プロセス工学講座 マイクロ材料学分野より- の候補として窒化チタン(TiN)薄膜に着目し,実デバイ.スに適用可能なGaN薄膜の作製を目的として,TiNバ防ぐ目的で,スパッタ法によりSi基板上に形成されて.いる.スパッタ法による極薄バリア層を均一 (続き
  • .t.l/.M.[.tP3 (Page 6)より- RFPlazmasupportsputteringmachine.RFプラズマ支援スパッタ装置TiN,SiC,TiC,Al-Cr2wt%,Al-Cu0.5wt%,Al-Nd2at%,Al-Si1wt (続き
  • 直流安定化電源 真空放電電源:平和電源より- 企業情報>>お問い合わせ>>サイトマップ>>ナノテックグループ.平和電源株式会社スパッタ電源DCS型.サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。 (続き
  • DLCコーティングより- (UBMスパッタ法)プラズマCVD.受託メーカー.N社TiNの2倍.は、この範囲中で比較的優位耐熱性などの点ではTiAlNの半分の能力で、密着力に関してはTiNが約120~130Nだと言うことを考慮すれば、 (続き
  • 第4回研究集会プログラムより- 9:15-10:15「チュートリアル」古田先生(60分)清和館.3F会議室スパッタ法によるTiNゲートを有するMOSFETの電気特性に関する研究スパッタ法で形成したSiO2膜の構造的電気的特性改質 (続き
  • CiNii - 高導電性PEDOT:PSSとITOとの複合電極を用いた ...より- またIndiumTinOxide(ITO)を厚くつけた素子では、PSS)を用いた素子に比べPEDOT:PSS上にITOを平均膜厚4nm程度対向スパッタ法で蒸着した複合電極を用いることで発光面の粗さが改善することを見出した。 (続き